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플라즈마 처리된 CIGS 박막으로 제작된 태양전지의 특성 연구

Title
플라즈마 처리된 CIGS 박막으로 제작된 태양전지의 특성 연구
Translated Title
Properties of Solar Cells Made of Plasma Treated CIGS Thin Films
Authors
조현준배인호고병수
Issue Date
2012
Citation
새물리, 62(2), 205-209
Type
Article
Keywords
CIGSPlasma treatmentSurface propertiesSolar cellCIGSPlasma 처리표면특성태양전지
ISSN
0374-4914
Abstract
동시 증발법(co-evaporation)으로 Mo이 증착된 소다라임(soda lime) 유리위에 성장시킨 CIGS 박막을 Ar, O_2 및 N_2 분위기에서 각각 RF 플라즈마 처리하였다. 플라즈마 처리 후 태양전지 특성 연구를 위하여Al:ZnO/i-ZnO/CdS/CIGS 구조로 제작하였다. 플라즈마 처리에 따른 CIGS 박막의 표면 변화를 SEM 및 AFM 측정으로 관측하였으며, 제작된태양전지는 전류-전압 측정으로 전기적인 특성을 조사하였다. Ar 플라즈마 처리된 태양전지의 개방전압 저하효과가 가장 크게 나타났으며,반응성 가스인 O_2 및 N_2 플라즈마의 경우 CIGS 박막 표면의물리적인 특성을 변화시켰다.
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/4967
Publisher
한국물리학회
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Collection:
ETC1. Journal Articles


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