https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/804 2026-04-04T15:18:03Z https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/59198 Title: MULTI-AXIS MAGNETO-RESISTANCE SENSOR ANNEALING SYSTEM, MULTI-AXIS MAGNETO-RESISTANCE SENSOR, AND METHOD FOR MANUFACTURING MULTI-AXIS MAGNETO-RESISTANCE SENSOR Author(s): 임병화; 전창엽; 이성혁; 김혜지; 김미진; 김진우; 김철기; 전태형 Abstract: Disclosed are a multi-axis magneto-resistance sensor annealing system, a multi-axis magneto-resistance sensor, and a method for manufacturing a multi-axis magneto-resistance sensor. A multi-axis magneto-resistance sensor annealing system according to one embodiment of the present invention comprises: multi-axis magneto-resistance sensors; magnetic flux guides positioned on the central parts of the plurality of multi-axis magneto-resistance sensors; magnetic field generation units that are positioned on the upper and lower parts of the multi-axis magneto-resistance sensors and the magnetic flux guides and generate a magnetic field; and a heating unit which accommodates the multi-axis magneto-resistance sensors, the magnetic flux guides, and the magnetic field generation units therein and performs an annealing process by heating same. https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/59080 Title: 자기 센서 및 이의 제조 방법 Author(s): 임병화; 김미진; 김철기; 전태형; 김진우; 이성혁; 전창엽 Abstract: 개시된 본 발명에 의한 자기 센서는, 복수의 자성 입자를 포함하여 자기장을 조절하는 자성부 및 자성부로부터 조절된 자기장을 감지하는 감지부를 포함하며, 자성부는 감지부에 의해 감지되는 감지 방향에 대해 복수의 자성 입자가 나란하게 배열되어 마련된다. 이러한 구성에 의하면, 감지부에 의해 감지되는 자기장의 세기를 증폭시킬 수 있어, 감지 민감도와 정확도를 향상시킬 수 있다. https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/58762 Title: THREE-AXIS MAGNETIC FIELD DETECTION DEVICE AND METHOD Author(s): 김진우; 전창엽; 임병화; 이성혁; 김미진; 전태형; 김철기 Abstract: The present invention relates to a technology for generating a stray field having a magnetic field direction according to an outer magnetic field by using a magnetic field conversion unit based on a magnetic particle, and detecting a magnetic field direction of the stray field through a magnetic sensor to detect a three-axis magnetic field. A three-axis magnetic field detection device according to an embodiment of the present invention may include a magnetic field conversion unit for generating a stray field having a magnetic field direction according to a magnetic field direction of an outer magnetic field by using a magnetic particle, a magnetic field measurement unit for measuring a magnetic field direction with respect to an X-axis magnetic field, a Y-axis magnetic field, and the stray field in relation to the outer magnetic field, and a magnetic field detection unit for detecting the X-axis magnetic field, the Y-axis magnetic field, and a Z-axis magnetic field on the basis of the measured magnetic field direction. https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/58499 Title: 교환 이방성 유도 방법에 따른 PHMR 센서의 열 노출 특성 및 성능 분석 Author(s): 전창엽; 김진우; 김미진; 양승희; 김철기 Abstract: Planar Hall Magnetoresistance(PHMR) 센서는 낮은 오프셋 전압, 선형적인 자기장 응답, 높은 감도로 인해 다양한 산업 분야에서 활용되고 있다. 그러나 고온 환경에서는 자기적 특성이 변하면서 성능 저하 및 신뢰성 감소가 발생할 수 있으며, 특히 교환 바이어스의 변화가 중요한 영향을 미친다. 본 연구에서는 열적 노출 및 어닐링 공정이 P HM R 센서의 교환 바이어스에 미치는 영향을 두 가지 유도 방식(스퍼터링 중 자기장 인가 vs. 후열처리)을 통해 비교 분석하였다. 실험 결과, 교환 바이어스는 온도 상승에 따라 점차 감소하고, 블로킹 온도 이상에서는 급격히 약화되는 것으로 나타났다. 그러나 어닐링 조건을 최적화하면 교환 바이어스를 안정적으로 유지할 수 있었으며, 이를 통해 고온 환경에서도 센서의 성능과 신뢰성을 확보할 수 있음을 확인하였다. 이 결과는 PHMR 센서의 제조 및 공정 최적화에 중요한 지침이 될 수 있으며, 고온 환경에서 장기적 신뢰성이 요구되는 응용에 기여할 수 있다. Planar Hall Magnetoresistance (PHMR) sensors are widely used in industrial applications due to their low offset voltage and linear magnetic field response. However, their magnetic properties and reliability can degrade under high-temperature conditions. This study investigates the variation of exchange bias in PHMR sensors under thermal exposure and annealing. Two exchange bias induction methods were compared: magnetic field application during sputtering and annealing above the blocking temperature. Results show that exchange bias decreases with rising temperature, especially above the blocking point, while optimized annealing conditions can maintain its stability. These findings offer guidance for enhancing the thermal reliability of PHMR sensors in harsh environments. 2025-03-31T15:00:00Z