입자 측정장치 및 이의 제조방법
- Title
- 입자 측정장치 및 이의 제조방법
- Alternative Title
- PARTICLE MEASURING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
- Country
- KO
- Application Date
- 2021-06-16
- Application No.
- 10-2021-0078266
- Registration Date
- 2023-02-13
- Publication No.
- 10-2500857
- Assignee
- 재단법인대구경북과학기술원
- Abstract
- 개시된 본 발명에 의한 입자 측정장치는, 압전 물질로 마련된 베이스에 패터닝되어 신호를 상호 송수신하는 제1 및 제2전극을 포함하여, 제1 및 제2전극 사이에서 송수신되는 신호 변화로 입자의 질량을 측정하는 측정부 및, 제1 및 제2전극 사이에 마련된 흡착 영역에 마련되어, 온도 변화에 따라 미세 입자를 흡착하는 흡착부를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 높은 흡착율을 가지면서도 압전 물질의 공진율을 간섭하지 않음으로써, 입자 측정 품질이 우수하다.
- Related Researcher
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Kim, Hoe Joon
- Research Interests MEMS/NEMS; Micro/Nano Sensors; Piezoelectric Devices; Nanomaterials; Heat Transfer; Atomic Force Microscope
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- Appears in Collections:
- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Nano Materials and Devices Lab 3. Patents
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