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투명산화물반도체 a-IGZO 박막트랜지스터의 제작과 채널두께에 따른 전기적특성분석
김준우
;
이광준
;
정재욱
;
김성진
;
최병대
2012-02-10
김준우. (2012-02-10). 투명산화물반도체 a-IGZO 박막트랜지스터의 제작과 채널두께에 따른 전기적특성분석. 한국진공학회 동계정기학술대회, 394–395.
한국진공학회
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