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Issue Date
Title
Author(s)
Article
Nonvolatile flash memory device with ferroelectric blocking layer via in situ ALD process
Kim, Dongsu
;
Song, Chong-Myeong
;
Heo, Su Jin
;
Pyo, Goeun
;
Kim, Dongha
;
Lee, Ji Hwan
;
Park, Kyung-Ho
;
Lee, Shinbuhm
;
Kwon, Hyuk-Jun
;
Jang, Jae Eun
2023-07
Kim, Dongsu. (2023-07). Nonvolatile flash memory device with ferroelectric blocking layer via in situ ALD process. Applied Physics Letters, 123(4). doi: 10.1063/5.0123608
American Institute of Physics
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