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MEMS Actuators for Tunable Waveguide Devices in Photonic Integrated Circuits: A Brief Review
  • Choi, Dongju ; 
  • Park, Young Jae ; 
  • Her, Man Jae ; 
  • Han, Sangyoon
  • 2025-06
  • Current Optics and Photonics, v.9, no.3, pp.185 - 195
  • 한국광학회
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