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Atomic Layer Deposition법에 의한 Al-doped ZnO Films의 전기적 및 광학적 특성

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Atomic Layer Deposition법에 의한 Al-doped ZnO Films의 전기적 및 광학적 특성
  • 2013-08
  • An, Ha Rim. (2013-08). Atomic Layer Deposition법에 의한 Al-doped ZnO Films의 전기적 및 광학적 특성. Korean Journal of Materials Research, 23(8), 469–475. doi: 10.3740/MRSK.2013.23.8.469
  • 한국재료학회
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