Kim, Jae Young ; Lee, Sun Young ; Shin, Mi Hyang ; Moon, Dae Won ; Tae, Heung-Sik
IEEE International Conference on Plasma Sciences (ICOPS), pp.91, 2015-05-24
김재영 ; 서은석 ; 문대원
2017년 한국진공학회 겨울정기학술대회, pp.148, 2017-02-15