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마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법
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- Title
- 마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법
- Alternative Title
- MICROWAVE PHOTODETECTION DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING OF MICROWAVE PHOTODETECTION DEVICE
- Country
- KO
- Application Date
- 2017-12-05
- Application No.
- 10-2017-0165715
- Registration Date
- 2019-01-14
- Publication No.
- 10-1940422
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 마이크로파 검출소자는 기판; 상기 기판 상에 서로 이격하여 배치된 제1전극 및 제2전극; 상기 기판에 적어도 일부가 이격하여 배치된 그래핀층; 상기 그래핀층에 전기적으로 연결되고, 상기 그래핀층 중 상기 기판과 이격된 부분에 상기그래핀층의 면방향으로 전류를 공급하도록 배치된 소스 전극 및 드레인 전극; 및 상기 기판상에 배치되어, 상기 기판 및 그래핀층의 적어도 일부가 이격된 공간을 형성하는 제1물질을 포함한다.
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