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마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법

Title
마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법
Translated Title
MICROWAVE PHOTODETECTION DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING OF MICROWAVE PHOTODETECTION DEVICE
Inventors
정민경
DGIST Inventors
정민경
Country
KO
Application Date
2017-12-05
Application No.
10-2017-0165715
Registration Date
2019-01-14
Registration No.
10-1940422
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/12233
https://doi.org/10.8080/1020170165715 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 마이크로파 검출소자 및 마이크로파 검출소자의 제조방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 마이크로파 검출소자는 기판; 상기 기판 상에 서로 이격하여 배치된 제1전극 및 제2전극; 상기 기판에 적어도 일부가 이격하여 배치된 그래핀층; 상기 그래핀층에 전기적으로 연결되고, 상기 그래핀층 중 상기 기판과 이격된 부분에 상기그래핀층의 면방향으로 전류를 공급하도록 배치된 소스 전극 및 드레인 전극; 및 상기 기판상에 배치되어, 상기 기판 및 그래핀층의 적어도 일부가 이격된 공간을 형성하는 제1물질을 포함한다.
Related Researcher
  • Author Jung, Minkyung  
  • Research Interests nanoelectronics, quantum transport, quantum physics, qubit, condensed matter physics,
Files:
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Collection:
Division of Nanotechnology3. Patents


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