CIGS 박막의 급속열처리 환경에 따른 CIGS 태양전지의 특성변화

Abstract

몰리브덴이 증착되어 있는 유리기판 위에 비정질 Cu(In,Ga)Se_2 (CIGS)박막을 동시증발 방법으로 증착한 후 급속열처리 과정을 거쳐결정화시켰다. 이때 급속열처리 환경이 박막의 성분비와 결정화 정도에미치는 영향을 관찰하였다. 진공에서보다 상압에서의 열처리가 Se의소실은 줄이고, 결정 성장은 더 크게 만드는 것을 알 수 있었다. 그리고덮게 유리를 이용한 경우에는 Se의 소실은 줄일 수 있었지만 태양전지에사용할 정도로 결정성장이 충분히 되지 않는다는 것을 확인하였다. 이렇게 형성된 CIGS 박막들을 이용하여 AZO/ZnO/CdS/CIGS/Mo 구조의태양전지를 제작하고 특성을 확인하였다. CIGS 태양전지의 특성은 결정이크게 성장된 CIGS 박막을 이용한 태양전지에서 더 좋게 나왔으며, 덮게유리 없이 아르곤 가스가 흐르는 상압에서 열처리를 한 CIGS를 이용한태양전지 시료에서 가장 높은 에너지 변환효율인 4.0 %를 보여주었다.