힘 센서

Abstract

힘 센서가 개시된다. 힘 센서는 일 방향에 개구부가 형성된 프레임, 프레임의 내부의 좌우에 대면하여 배치되어 기 설정된 제1 자기장을 형성하는 자화 반전용 영구자석층, 프레임과 기 설정된 거리 이격되어 배치되는 기판지지층, 기판지지층 상에 자화 반전용 영구자석층 방향으로 기판지지층과 수직으로 배치되는 기판 및 기판에 배치되고, 기 설정된 저항 값을 가지는 자기터널접합소자를 포함하고, 기판은 외부의 압력에 의해 프레임과 기판지지층 사이의 간격이 줄어듬에 따라 프레임의 개구부에 삽입되고, 자기터널접합소자는 기판이 프레임의 개구부에 삽입됨에 따라, 기 설정된 제1 자기장이 형성된 영역에 위치하는 경우, 기 설정된 저항 값이 변화되고, 기 설정된 저항 값이 변화에 기초하여 압력이 감지된다.