본 발명은 2단자 저항변화 메모리 및 이의 제조방법, 이를 포함하는 크로스포인트 어레이 구조의 메모리 시스템에 관한 것으로, 상세하게는 제 1 금속층; 상기 제 1 금속층 상에 배치되며, 1 내지 15 nm의 두께를 갖는 강유전체층; 상기 강유전체층 상에 배치되는 반도체층; 및 상기 반도체층 상에 배치되는 제 2 금속층;을 포함하는 2단자 저항변화 메모리 및 이의 제조방법, 이를 포함하는 크로스포인트 어레이 구조의 메모리 시스템에 관한 것이다.
Research Interests
Next generation semiconductor material/device; 차세대 반도체 소재/소자; Memristor; 멤리스터; Neuromorphic device; 뉴로모픽 소자; Nonvolatile resistance memory; 비휘발성 저항변화메모리