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레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로 로봇 제작방법
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- Title
- 레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로 로봇 제작방법
- Alternative Title
- METHOD FOR MANUFACTURING ULTRA FINE 3D MICRO ROBOT USING LASER-STRUCTURED POLYMER MOLD
- Country
- KO
- Application Date
- 2015-02-16
- Application No.
- 10-2015-0023277
- Registration Date
- 2021-08-06
- Publication No.
- 10-2289323
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
비 폴리머 재료를 이용하여 초미세 3차원 마이크로 로봇을 제작하는 방법이 개시된다. 본 발명의 일 면에 따른 레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로로봇 제작방법은, (a) 3차원 레이저 리소그래피 시스템을 이용하여 제작된 미세 구조물을 포함할 몰드를 준비하는 단계; 및 (b) 도금법 및 담금법 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 몰드에 비폴리머 재료를 주입하는 단계를 포함한다.
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