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  Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 3. Patents
레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로 로봇 제작방법
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Title
레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로 로봇 제작방법
Alternative Title
METHOD FOR MANUFACTURING ULTRA FINE 3D MICRO ROBOT USING LASER-STRUCTURED POLYMER MOLD
Country
KO
Application Date
2015-02-16
Application No.
10-2015-0023277
Registration Date
2021-08-06
Publication No.
10-2289323
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/15232 10-2015-0023277
Abstract
비 폴리머 재료를 이용하여 초미세 3차원 마이크로 로봇을 제작하는 방법이 개시된다. 본 발명의 일 면에 따른 레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로로봇 제작방법은, (a) 3차원 레이저 리소그래피 시스템을 이용하여 제작된 미세 구조물을 포함할 몰드를 준비하는 단계; 및 (b) 도금법 및 담금법 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 몰드에 비폴리머 재료를 주입하는 단계를 포함한다.
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