레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로 로봇 제작방법

Abstract

비 폴리머 재료를 이용하여 초미세 3차원 마이크로 로봇을 제작하는 방법이 개시된다. 본 발명의 일 면에 따른 레이저 가공 폴리머 몰드를 이용한 초미세 3차원 마이크로로봇 제작방법은, (a) 3차원 레이저 리소그래피 시스템을 이용하여 제작된 미세 구조물을 포함할 몰드를 준비하는 단계; 및 (b) 도금법 및 담금법 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 상기 몰드에 비폴리머 재료를 주입하는 단계를 포함한다.