원심 밸브 제어 장치

Abstract

본 발명은, 챔버 및 챔버와 연결되는 채널을 구비하는 몸체 및 채널을 개폐하는 밸브를 구비하는 몸체부와, 몸체 상에 결합되고, 밸브에 대응되는 위치에 배치되는 가열 부재를 구비하는 가열부와, 몸체부 및 가열부를 함께 회전시키는 회전 구동부를 포함하고, 밸브는 몸체부 및 가열부가 함께 회전하는 동안 가열 부재에 의해 채널을 개폐하도록 형성되는 원심 밸브 제어 장치를 제공한다. 이를 통해, 원심 밸브 제어 장치의 밸브를 정밀하게 제어할 수 있다.