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압전 멤스 벡터 하이드로폰 및 이의 제조 방법
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- Title
- 압전 멤스 벡터 하이드로폰 및 이의 제조 방법
- Alternative Title
- Piezoelectric Micro-Electro Mechanical Systems vector hydrophone equipment and Method for manufacturing the same
- Country
- KO
- Application Date
- 2019-11-29
- Application No.
- 10-2019-0156411
- Registration Date
- 2022-02-22
- Publication No.
- 10-2367922
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(50/50),국방과학연구소(50/50)
- Abstract
-
압전 물질의 압전 효과를 이용하여 수중 음향신호의 크기와 음원의 방향 정보를 동시에 산출할 수 있는 압전 멤스 벡터 하이드로폰이 개시된다. 상기 압전 멤스 벡터 하이드로폰은, 압전 멤스가 형성되는 기판, 및 상기 기판의 표면과 일정 간격을 두고 배치되는 질량체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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