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용액 공정을 이용하는 금속 산화물 막 코팅방법
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- Title
- 용액 공정을 이용하는 금속 산화물 막 코팅방법
- Alternative Title
- Metal oxide film coating method using solution process
- Country
- KO
- Application Date
- 2020-01-13
- Application No.
- 10-2020-0004323
- Registration Date
- 2022-04-28
- Publication No.
- 10-2393737
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 금속 알콕사이드 및 유기물을 혼합하여 금속-유기물 전구체 용액을 준비하는 제 1 단계; 입자가 분산된 용매에 상기 금속-유기물 전구체 용액을 첨가하여 상기 입자 표면에 금속-유기물 전구체 흡착막을 형성하는 제 2 단계; 및 상기 금속-유기물 전구체 흡착막이 형성된 입자를 가열하여 표면에 금속 산화물 막이 형성된 입자를 형성하는 제 3 단계; 를 포함하고, 상기 금속 산화물 막의 두께가 목표하는 두께에 도달할 때까지 상기 제 2 단계 및 제 3 단계를 교대 반복하여 수행하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 막 코팅 방법을 제공한다.
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