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자성 다층 박막 및 그 제조 방법
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- Title
- 자성 다층 박막 및 그 제조 방법
- Alternative Title
- MAGNETIC MULTI LAYER THIN FILM AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
- Country
- KO
- Application Date
- 2021-05-27
- Application No.
- 10-2021-0068533
- Registration Date
- 2022-10-11
- Publication No.
- 10-2454690
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 개시의 일 실시예의 자성 다층 박막은, 중금속층, 중금속층의 상면에 형성되는 자성층 및 자성층의 상면에 형성되는 산화막을 포함하고, 산화막은, 제1 두께를 갖는 제1 영역 및 제1 두께와 상이한 제2 두께를 갖는 제2 영역을 포함하고, 제1 영역과 제2 영역은 상이한 크기의 수직이방성을 가질 수 있다.
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