사출 공정 변수의 최적화를 위한 장치 및 방법

Abstract

전자 장치가 개시된다. 본 전자 장치는 복수의 공정 변수 및 복수의 공정 변수 각각에 대한 변수 값을 포함하는 공정 변수 데이터, 공정 변수 데이터에 따라 양품 또는 불량품을 구별한 품질 데이터, 복수의 공정 변수에 기초하여 품질을 분류하며 공정 변수 데이터 및 품질 데이터로 학습된 서로 다른 복수의 분류 모델 및 복수의 공정 변수 중 하나의 공정 변수 값을 나머지 공정 변수를 이용하여 산출하는 회귀 모델이 저장된 메모리 및 복수의 분류 모델에서 사용하는 공정 변수 별로 변수 값의 변화에 따라 품질에 영향을 미치는 정도인 변수 중요도를 산출하고, 산출된 변수 중요도에 기초하여 복수의 공정 변수 중 복수의 주요 공정 변수를 선별하고, 공정 변수 데이터 중 선별된 복수의 주요 공정 변수에 대응되는 데이터를 이용하여, 복수의 주요 공정 변수 별 회귀 모델을 학습시키고, 신규 공정 변수 값이 입력되면, 신규 공정 변수 값 및 복수의 주요 공정 변수 별 회귀 모델을 이용하여, 복수의 주요 공정 변수 각각에 대한 최적 값을 산출하는 프로세서를 포함한다.