Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박영재 | - |
| dc.contributor.author | 한상윤 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-23T20:40:15Z | - |
| dc.date.available | 2024-01-23T20:40:15Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/47669 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법에 관한 것으로, 일실시예에 따른 광학 소자의 제조방법은 기설정된 갭(gap)을 두고 서로 이격된 복수의 도파관(waveguide)이 형성된 기판을 챔버로 로딩하는 단계 및 원자층 증착법을 통해 복수의 도파관 각각에 금속 산화물을 증착하는 단계를 포함한다. | - |
| dc.title | 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT BASE ON ATOMIC LAYER DEPOSITION | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2022-0023575 | - |
| dc.date.application | 2022-02-23 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2626971 | - |
| dc.date.registration | 2024-01-16 | - |
| dc.contributor.assignee | 재단법인대구경북과학기술원 | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Intelligent Nanophotonics Lab 3. Patents
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