Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 최홍수 | - |
| dc.contributor.author | 여홍구 | - |
| dc.contributor.author | 신은정 | - |
| dc.contributor.author | 연아라 | - |
| dc.date.accessioned | 2024-06-01T02:10:14Z | - |
| dc.date.available | 2024-06-01T02:10:14Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/56622 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명에 따르면, 기판이 제공되는 단계; 상기 기판의 상면이 식각되는 단계; 식각된 상기 기판의 상면에 pMUT 요소가 형성되는 단계; 상기 pMUT 요소 상에 절연 물질이 증착되는 단계; 및 상기 기판의 후면이 식각되는 단계;를 포함하는, 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법를 제공한다. | - |
| dc.title | 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법 | - |
| dc.title.alternative | Manufacturing method of ultrasound transducer apparatus | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2018-0116622 | - |
| dc.date.application | 2018-09-28 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2670111 | - |
| dc.date.registration | 2024-05-23 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 3. Patents
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