신경인터페이스 및 이의 제조 방법

Abstract

본 발명의 다양한 실시예에 따른 신경인터페이스는, 신경자극 및 신경신호 기록을 위한 전극부; 제1 홀에 의해 정의되는 제1 영역; 및 상기 제1 영역 내에 배치되는 제2 홀에 의해 정의되는 제2 영역을 포함하고, 상기 전극부는 제1 전극부 및 제2 전극부를 포함하고, 상기 제1 전극부 및 제2 전극부 중 어느 하나는 제2 영역 내에 배치되는 것을 특징으로 할 수 있다. 본 발명의 다양한 실시예에 따른 신경인터페이스의 제조 방법은, 형상기억폴리머를 합성하는 단계; 기판에 상기 형상기억폴리머를 제1 코팅하는 단계; 상기 형상기억폴리머 상에 포토레지스트를 형성하는 단계; 상기 포토레지스트를 마스킹하는 단계; 전극 물질을 스퍼터링하는 단계; 상기 전극 물질을 포토리소그래피 공정으로 패터닝하는 단계; 상기 형상기억폴리머를 제2 코팅하는 단계; 및 상기 형상기억폴리머를 에칭하는 단계;를 포함할 수 있다.