실리콘 포토닉 링 공진기 및 캔틸레버 구조에 기반한 초음파 센서 및 그 제어 방법

Abstract

본 개시의 일 실시 예에 따른 초음파 센서는 광이 통과하도록 설정된 직선 형태의 광 도파로, 광이 통과하도록 설정되고, 광 도파로가 위치한 평면과 평행한 방향으로 광 도파로에서 이격하여 위치하는 제1 루프(loop) 공진기, 적어도 일부가 제1 루프 공진기와 이격하여 위치하는 제1 멤브레인 및 광 도파로의 일단으로 광을 입사시키는 광 송신부를 포함하고, 제1 멤브레인은 광 도파로에서 먼 방향인 제1 멤브레인의 일단을 축으로 하는 외팔 구조를 가지고, 외부의 음압에 의하여 제1 멤브레인이 일단을 축으로 진동하여 제1 멤브레인의 적어도 일부가 제1 루프 공진기와 이격 거리가 변화할 수 있다.