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ＣＩＧＳ 광흡수층 제조 방법
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- Title
- ＣＩＧＳ 광흡수층 제조 방법
- Alternative Title
- Manufacturing Method of CIGS Light Abosorbing Layer
- Country
- KO
- Application Date
- 2012-10-12
- Application No.
- 10-2012-0113536
- Registration Date
- 2014-04-18
- Publication No.
- 10-1389017
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 기판 상에 용액 방식으로 CIGS 박막 형성하는 단계; 상기 단계에서 형성된 CIGS 박막을 용액 방식으로 셀렌화하는 단계; 및 비활성기체 분위기 챔버에서 열처리하는 단계를 포함하는 CIGS 광흡수층 제조 방법을 제공한다.
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