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CIGS 광흡수층 제조 방법
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Title
CIGS 광흡수층 제조 방법
Alternative Title
Manufacturing Method of CIGS Light Abosorbing Layer
Country
KO
Application Date
2012-10-12
Application No.
10-2012-0113536
Registration Date
2014-04-18
Publication No.
10-1389017
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8123 10-2012-0113536
Abstract
본 발명은 기판 상에 용액 방식으로 CIGS 박막 형성하는 단계; 상기 단계에서 형성된 CIGS 박막을 용액 방식으로 셀렌화하는 단계; 및 비활성기체 분위기 챔버에서 열처리하는 단계를 포함하는 CIGS 광흡수층 제조 방법을 제공한다.
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Kim, Jae Hyun김재현

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