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전자파를 이용한 화합물 박막 태양전지용 버퍼층 제조 방법

Title
전자파를 이용한 화합물 박막 태양전지용 버퍼층 제조 방법
Translated Title
MANUFACTURING METHOD OF BUFFER LAYER FOR THIN-FILM SOLAR CELL USING ELECTROMAGNETIC WAVE
Inventors
전동환김대환성시준황대규이동하
DGIST Inventors
전동환; 김대환성시준황대규; 이동하
Country
KO
Application Date
2014-10-15
Application No.
10-2014-0139016
Registration Date
2015-01-26
Registration No.
10-1488202
Assignee
엑스체인 주식회사(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8497
https://doi.org/10.8080/1020140139016 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 전자파를 사용하여 화합물 박막 태양전지용 버퍼층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 종래의 화학조 침착법의 열원 공급 방법인 항온조를 통한 전달 방식 대신에 전자파의 유전 가열방식을 사용하여 버퍼층을 증착한다. 이를 통해 빠르고 균일하게 화학조 내부 용액 온도를 상승시켜 공정 시간을 단축하고, 증착하고자 하는 기판에 열원을 균일하게 공급함으로서 양질의 박막을 빠르게 증착할 수 있다.
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Collection:
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