전자파를 이용한 화합물 박막 태양전지용 버퍼층 제조 방법

Abstract

본 발명은 전자파를 사용하여 화합물 박막 태양전지용 버퍼층을 제조하는 방법에 관한 것으로, 종래의 화학조 침착법의 열원 공급 방법인 항온조를 통한 전달 방식 대신에 전자파의 유전 가열방식을 사용하여 버퍼층을 증착한다. 이를 통해 빠르고 균일하게 화학조 내부 용액 온도를 상승시켜 공정 시간을 단축하고, 증착하고자 하는 기판에 열원을 균일하게 공급함으로서 양질의 박막을 빠르게 증착할 수 있다.