ＰＤＭＳ 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템

Abstract

본 발명은 마이크로 패턴을 갖는 탄성중합체(PDMS) 스탬프가 기판의 상부에 정렬된 상태 및 상기 탄성중합체 스탬프에 형성된 마이크로 단위의 스탬프 패턴을 확인하는 현미경; 상기 현미경의 일측에 구비되며, 상기 탄성중합체 스탬프를 이동 및 회전시키면서 상기 현미경에 상기 탄성중합체 스탬프의 위치를 조절한 후 상기 기판에 상기 탄성중합체 스탬프를 스탬핑시키는 미세위치조정 인쇄장치; 및 상기 미세위치조정 인쇄장치의 이동 및 회전을 제어하는 제어부를 포함하는 PDMS(Polydimethylsiloxane) 재질의 탄성중합체로 된 스탬프의 미세위치조정 인쇄 시스템을 제공한다.따라서, 현미경을 비전 시스템으로 이용함으로 인해 미세한 패턴 확인을 가능하게 하고, 그로 인하여 기판 내 특정 위치의 스탬핑이나 패턴 정렬에 효과적인 장점을 가지며, 미세조정이 가능한 미세회전스테이지를 구비함으로 인하여 스탬프 패턴과 기판 패턴 사이에 생길 수 있는 패턴의 틀어짐을 보정할 수 있으며, 수직스테이지를 모터를 이용하여 제어함으로써 스탬프의 누르는 힘을 조절하여 정확성을 보장할 수 있는 장점을 갖는다.