Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 손대호 | - |
| dc.contributor.author | 김영일 | - |
| dc.contributor.author | 양기정 | - |
| dc.contributor.author | 심준형 | - |
| dc.date.accessioned | 2018-07-11T12:50:11Z | - |
| dc.date.available | 2018-07-11T12:50:11Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/8860 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 화합물 박막 태양전지 제조 장치 및 이를 이용한 열처리 공정 방법에 관한 것이다. 금속/ 금속-화합물 물질로 구성하고 있는 전구체를 셀렌화 및 황화 열처리 제조 시스템를 통하여 4원계 이상 화합물 흡수층 제작 열처리 공정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 태양전지 제조 장치는 가압 챔버, 밀폐된 가압 챔버 내부에 결합되는 셀렌화 및 황화 열처리 트레이 및 기판 트레이로 구성되어 있으며, 보다 효율 적으로 열전달 및 화합물 결정 성장을 위한 열전달 플랭크가 배치되었다. 상기 트레이는 보다 효율적으로 칼코젠 원소를 효율적으로 공급함으로써 셀렌/황화 원소 비율이 조절이 용이하고, 셀레늄 및 황 증기와 불활성 기체를 챔버 내부에서 가열하여 열처리 공정시 전구체의 박막 결정 형성을 극대화 할 수 있다. | - |
| dc.title | 박막 태양전지 제조 장치 및 이를 이용한 열처리 공정 방법 | - |
| dc.title.alternative | A Processing Apparatus for Manufacturing Thin Film Solar Cell and Method for Thermal Processing using the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2016-0123156 | - |
| dc.date.application | 2016-09-26 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1779508 | - |
| dc.date.registration | 2017-09-12 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.description.claim | 하부 트레이;상기 하부 트레이 내에 안착될 수 있는 상부 트레이로서, 처리될 기판을 수용할 수 있는 하나 이상의 기판 수용 요부가 상부에 형성되어 있는 상부 트레이;상기 상부 트레이의 상부에 배치되어 상기 기판 수용 요부를 밀폐시키는 플랭크를 포함하고;이때 상기 하부 트레이는 트레이 바닥 및 상기 트레이 바닥으로부터 상방으로 연장하는 트레이 벽을 구비하고, 상기 트레이 벽부에 하나 이상의 공극이 형성되며, 상기 하부 트레이의 내부는 상기 하나 이상의 공극을 통해 상기 트레이 외부 환경과 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되며,상기 상부 트레이의 기판 수용 요부는 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽을 구비하고, 상기 요부 벽의 두께는 처리될 기판의 두께보다 크며, 상기 기판 수용 요부 바닥 및 기판 수용 요부 벽 모두에 하나 이상의 공극이 형성되되 상기 하부 트레이와 상기 기판 수용 요부가 상기 하나 이상의 공극에 의해 서로 유체가 소통될 수 있게 연결되어 있는 것을 특징으로 하는, 박막 태양전지 제조 장치의 칼코젠 열처리 내부 장치. | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- Division of Energy Technology 3. Patents
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