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동시증발법을 이용한 ＣＺＴＳ 또는 ＣＺＴＳｅ계 박막 제조방법 및 이로부터 제조된 태양전지
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- Title
- 동시증발법을 이용한 ＣＺＴＳ 또는 ＣＺＴＳｅ계 박막 제조방법 및 이로부터 제조된 태양전지
- Alternative Title
- Prepration method of CZTS or CZTSe thin film solar cell using co－evaporation and solar cell prepared by the same
- Country
- KO
- Application Date
- 2016-09-19
- Application No.
- 10-2016-0119445
- Registration Date
- 2018-02-28
- Publication No.
- 10-1835580
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 동시증발법을 통해 CZTS계 전구체를 형성하고 VI족 원소를 공급함과 동시에 불활성 기체 하에서 급속 열처리함으로써 밴드갭 기울기를 갖는 박막과 이를 이용한 박막 태양전지에 관한 것으로, 본 발명에 따른 CZTS계 박막 태양전지의 제조방법은 기판을 준비하는 단계; 기판 위에 후면 전극을 형성하는 단계; 상기 후면 전극 위에 Cu 전구체, Zn 전구체, Sn 전구체 및 VI족 원소 전구체를 포함하는 금속 전구체를 증착시켜 금속 전구체층을 형성하는 단계; 및 불활성 기체 분위기 하에서 열처리하여 광흡수층을 제조하는 단계를 포함한다.
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