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Conference
Atomic Layer Deposition of ZrO2 thin films Using CpZrNMe23 and Water
  • 2017-06-27
  • Lee, Sang Ju. (2017-06-27). Atomic Layer Deposition of ZrO2 thin films Using CpZrNMe23 and Water. 2017 International Forum on Functional Materials IFFM2017, 210–210.
  • IFFM
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