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화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법
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- Title
- 화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법
- Alternative Title
- MANUFACTURING METHOD OF COMPOUND LIGHT ABSORBING LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF SOLAR CELLCOMPRISING THE SAME
- Country
- KO
- Application Date
- 2019-02-01
- Application No.
- 10-2019-0013807
- Registration Date
- 2019-05-07
- Publication No.
- 10-1978110
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 화합물 광흡수층의 제조방법은 기판 상에 전구체층을 형성하는 단계; 상기 전구체층이 형성된 기판을 챔버 내에 배치하는 단계; 상기 챔버 내의 압력을 감소하는 단계; 상기 챔버 내에 불활성 기체를 공급하는 단계; 상기 챔버 내에 칼코겐을 포함하는 기체를 공급하는 단계; 상기 챔버 내의 압력이 300 내지 800 Torr에 도달 시 상기 불활성 기체 및 칼코겐을 포함하는 기체의 공급을 차단하는 단계; 및 상기 챔버 내의 압력을 300 내지 800Torr로 유지하고, 상기 챔버 내의 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
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