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화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법

Title
화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법
Translated Title
MANUFACTURING METHOD OF COMPOUND LIGHT ABSORBING LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF SOLAR CELLCOMPRISING THE SAME
Inventors
강진규손대호김영일김대환양기정
DGIST Inventors
강진규; 손대호; 김대환양기정
Country
KO
Application Date
2019-02-01
Application No.
10-2019-0013807
Registration Date
2019-05-07
Registration No.
10-1978110
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/11167
https://doi.org/10.8080/1020190013807 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 화합물 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 화합물 광흡수층의 제조방법은 기판 상에 전구체층을 형성하는 단계; 상기 전구체층이 형성된 기판을 챔버 내에 배치하는 단계; 상기 챔버 내의 압력을 감소하는 단계; 상기 챔버 내에 불활성 기체를 공급하는 단계; 상기 챔버 내에 칼코겐을 포함하는 기체를 공급하는 단계; 상기 챔버 내의 압력이 300 내지 800 Torr에 도달 시 상기 불활성 기체 및 칼코겐을 포함하는 기체의 공급을 차단하는 단계; 및 상기 챔버 내의 압력을 300 내지 800Torr로 유지하고, 상기 챔버 내의 기판을 가열하는 단계를 포함한다.
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Division of Energy Technology3. Patents


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