Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 손대호 | - |
| dc.contributor.author | 김영일 | - |
| dc.contributor.author | 전동환 | - |
| dc.contributor.author | 성시준 | - |
| dc.contributor.author | 양기정 | - |
| dc.contributor.author | 황대규 | - |
| dc.contributor.author | 강진규 | - |
| dc.contributor.author | 김대환 | - |
| dc.date.accessioned | 2020-02-25T02:58:40Z | - |
| dc.date.available | 2020-02-25T02:58:40Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/11356 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐화 열처리 장치는 기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 및 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함한다. | - |
| dc.title | 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법 | - |
| dc.title.alternative | CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT APPARATUS AND CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT METHOD | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2017-0096461 | - |
| dc.date.application | 2017-07-28 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-1978040 | - |
| dc.date.registration | 2019-05-07 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- Division of Energy & Environmental Technology 3. Patents
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