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거대자기저항 센서
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- Title
- 거대자기저항 센서
- Alternative Title
- Giant magnetoresistance Sensor
- Country
- KO
- Application Date
- 2017-11-16
- Application No.
- 10-2017-0153162
- Registration Date
- 2019-03-28
- Publication No.
- 10-1965510
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명의 일 실시예에 따른 GMR 센서는 사각형의 변에 각각 배치되는 제1 내지 제4 GMR 저항을 포함한다. 상기 제1 내지 제4 GMR 저항 각각은, 기판 상에 배치된 단열 절연층; 상기 단열 절연층 상에 배치된 가열 라인; 상기 가열 라인 상에 차례로 적층된 고정층, 비자성 금속층, 및 자유층을 포함하는 GMR 소자; 상기 가열 라인의 일단에 연결된 제1 가열 라인 패드; 상기 가열 라인의 타단에 연결된 제2 가열 라인 패드; 상기 GMR 소자의 일단에 연결된 제1 연결 패드; 및 상기 GMR 소자의 타단에 연결된 제2 연결 패드를 포함한다. 상기 GMR 소자의 고정층의 자화 방향은 상기 제1 내지 제4 GMR 저항에서 서로 다르다.
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