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색순도 조절 다층 구조 필터 및 이의 제조 방법

Title
색순도 조절 다층 구조 필터 및 이의 제조 방법
Translated Title
Multilayered filters for controlling color purity and manufacturing method thereof
Inventors
최병대류홍근
DGIST Inventors
최병대류홍근
Country
KO
Application Date
2018-10-30
Application No.
10-2018-0130883
Registration Date
2020-04-27
Registration No.
10-2106817
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/12288
https://doi.org/10.8080/1020180130883 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 a) 아세톤, 알코올 및 탈염수에서 순차적으로 초음파 배쓰(bath)로 기판을 세정하는 단계; b) 스퍼터링 방법을 통해 SiO2 및 TiO2 타겟을 이용하여 SiO2/TiO2 스태킹 층(stacking layer)을 증착하는 단계; c) 증착된 다층 필름에 대하여 30 내지 150 분간 200 내지 600℃ 의 온도로 어닐링 처리하는 단계; 를 포함하는 SiO2/TiO2 다층 구조 필터의 제조 방법에 대해 개시하고 있으며, 상기 제조된 SiO2/TiO2 다층 구조 필터를 액정 표시 장치, LED 혹은 OLED 에 결합하여 어닐링 온도를 어닐링 온도를 달리함으로써, 색순도 조절을 보다 쉽게 조절할 수 있는 점을 개시하고 있다.
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