| dc.contributor.author |
이재백 |
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| dc.contributor.author |
심준형 |
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| dc.contributor.author |
김대환 |
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| dc.contributor.author |
안광석 |
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| dc.contributor.author |
양기정 |
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| dc.contributor.author |
김삼미 |
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| dc.contributor.author |
손대호 |
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| dc.contributor.author |
김세윤 |
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| dc.contributor.author |
강진규 |
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| dc.date.accessioned |
2021-04-23T05:35:04Z |
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| dc.date.available |
2021-04-23T05:35:04Z |
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| dc.identifier.uri |
http://hdl.handle.net/20.500.11750/13250 |
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| dc.description.abstract |
본 발명은 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐 증착 장치는 액화된 칼코겐 소스를 수용하면서 외부 표면으로 기화된 칼코겐 소스를 방출할 수 있는 다공성 부재를 포함한다. |
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| dc.title |
다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법 |
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| dc.title.alternative |
CHALCOGENIDE EVAPORATION APPARATUS COMPRISING POROUS MEMBER AND CHACOGENIZATION METHOD |
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| dc.type |
Patent |
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| dc.publisher.country |
KO |
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| dc.identifier.patentApplicationNumber |
10-2018-0054945 |
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| dc.date.application |
2018-05-14 |
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| dc.identifier.patentRegistrationNumber |
10-2195281 |
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| dc.date.registration |
2020-12-18 |
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| dc.contributor.assignee |
(재)대구경북과학기술원(100/100) |
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| dc.type.iprs |
특허 |
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