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dc.contributor.author 이재백 -
dc.contributor.author 심준형 -
dc.contributor.author 김대환 -
dc.contributor.author 안광석 -
dc.contributor.author 양기정 -
dc.contributor.author 김삼미 -
dc.contributor.author 손대호 -
dc.contributor.author 김세윤 -
dc.contributor.author 강진규 -
dc.date.accessioned 2021-04-23T05:35:04Z -
dc.date.available 2021-04-23T05:35:04Z -
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/20.500.11750/13250 -
dc.description.abstract 본 발명은 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐 증착 장치는 액화된 칼코겐 소스를 수용하면서 외부 표면으로 기화된 칼코겐 소스를 방출할 수 있는 다공성 부재를 포함한다. -
dc.title 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법 -
dc.title.alternative CHALCOGENIDE EVAPORATION APPARATUS COMPRISING POROUS MEMBER AND CHACOGENIZATION METHOD -
dc.type Patent -
dc.publisher.country KO -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2018-0054945 -
dc.date.application 2018-05-14 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-2195281 -
dc.date.registration 2020-12-18 -
dc.contributor.assignee (재)대구경북과학기술원(100/100) -
dc.type.iprs 특허 -
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Division of Energy Technology 3. Patents

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