셀렌화 및 황화 열처리를 통한 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지 광흡수층의 제조방법 및 상기 광흡수층을 함유한 박막 태양전지
- Title
- 셀렌화 및 황화 열처리를 통한 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지 광흡수층의 제조방법 및 상기 광흡수층을 함유한 박막 태양전지
- Alternative Title
- Manufacturing method of thin film solar cell light absorber with controlled selenium and sulfer ration and thin film solar cell comprising therof
- Country
- KO
- Application Date
- 2017-09-26
- Application No.
- 10-2017-0124487
- Registration Date
- 2019-01-10
- Publication No.
- 10-1939114
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명은 셀렌화 및 황화 열처리를 통한 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지 광흡수층의 제조방법 및 상기 광흡수층을 함유한 박막 태양전지에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명에 따른 광흡수층 내 셀렌 및 황의 조성이 조절된 박막 태양전지의 광흡수층 제조는, 후면 전극층 상에 금속, 금속 황 또는 금속 셀렌을 포함하는 금속 화합물 전구체를 증착하는 단계; 순수 셀렌 금속을 이용하여 셀렌(Se)화 공정을 진행하는 단계; 셀렌화 공정 후 잔유 셀렌 물질 및 기화 가스를 제거(purge) 하는 단계; 및 황화 수소(H2S) 가스 주입 및 황화 열처리를 순차적으로 진행하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따른 방법은 흡수층 내에서 셀렌과 황의 비율을 적절하게 조정하여 밴드갭 조절이 가능한 고품질의 화합물 태양전지의 제조에 유용하게 활용할 수 있다.
- Related Researcher
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Kim, Dae-Hwan
- Research Interests Solar Cells; 태양전지; Thin Film Deposition; 박막 증착; Atomic Layer Deposition; 원자층 증착; CIGS; CZTS; Sb chalcogenides; 안티모니 칼코지나이드
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- Appears in Collections:
- Division of Energy & Environmental Technology 3. Patents
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