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정전용량식 터치센서, 압전센서 및 듀얼게이트 트랜지스터를 포함하는 트랜지스터 모듈
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- Title
- 정전용량식 터치센서, 압전센서 및 듀얼게이트 트랜지스터를 포함하는 트랜지스터 모듈
- Alternative Title
- Transistor module comprising capacitive touch sensor, piezoelectric sensor and dual-gate transistor
- Country
- KO
- Application Date
- 2019-04-03
- Application No.
- 10-2019-0038810
- Registration Date
- 2021-05-06
- Publication No.
- 10-2251277
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 정전용량식 터치센서, 압전센서 및 듀얼게이트 트랜지스터를 포함하고; 상기 듀얼게이트 트랜지스터는 하부게이트전극; 상기 하부게이트전극 상부에 위치한 하부게이트절연층; 상기 하부게이트절연층 상부에 위치한 반도체층; 상기 반도체층 상부에 위치한 상부게이트절연층; 상기 상부게이트절연층 상부에 위치한 상부게이트전극; 및 서로 이격되어 위치하는 소스전극 및 드레인전극; 을 포함하는 트랜지스터 모듈을 제공한다.
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