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CZTSSe계 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법

Title
CZTSSe계 광흡수층의 제조방법 및 이를 포함하는 태양전지의 제조방법
Alternative Title
MANUFACTURING METHOD OF CZTSSe LIGHT ABSORBING LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF SOLAR CELLCOMPRISING THE SAME
Author(s)
양기정강진규김영일김대환손대호김승현김세윤
Country
KO
Application Date
2018-11-23
Application No.
10-2018-0146272
Registration Date
2021-07-27
Publication No.
10-2284740
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/15247 10-2018-0146272
Abstract
기판 상에 전구체 물질로 금속을 사용하여 구리(Cu), 아연(Zn) 및 주석(Sn)을 포함하는 전구체층을 형성하는 단계; 상기 전구체층이 형성된 기판 및 금속 형태의 셀레늄(Se)을 챔버 내에 배치하는 단계; 상기 챔버 내의 압력을 감소하는 단계; 상기 챔버 내에 불활성 기체를 공급하는 단계; 상기 챔버 내의 압력이 300 내지 700 Torr에 도달 시 상기 불활성 기체의 공급을 차단하는 단계; 및 상기 챔버 내의 압력을 300 내지 700 Torr로 유지하고, 상기 챔버 내의 기판을 가열하며 황화수소(H2S)를 공급하되, 300℃ 내지 350℃ 이하의 온도 범위에서 황화수소를 공급하고, 적어도 400℃를 초과하는 온도 범위에서 황화수소의 공급을 차단하는 단계;를 포함하는 CZTSSe계 광흡수층의 제조방법이 개시된다.
Related Researcher
  • 양기정 Yang, Kee-Jeong
  • Research Interests Kesterite Solar Cell; Calcogenide Solar Cell; Next Generation Solar Cell; Polymer Dispersed Liquid Crystal (PDLC); Smart Window
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Division of Energy & Environmental Technology 3. Patents

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