유연한 기판의 3차원 구조물 기반의 신경전극 및 이의 제조 방법
- Title
- 유연한 기판의 3차원 구조물 기반의 신경전극 및 이의 제조 방법
- Alternative Title
- NEURAL ELECTRODE WITH 3D STRUCTURE OF FLEXIBLE SUBSTRATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
- Country
- KO
- Application Date
- 2019-11-18
- Application No.
- 10-2019-0148128
- Registration Date
- 2022-06-17
- Publication No.
- 10-2411960
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명의 일 실시 예는 3차원 구조를 이용하여 대상체와의 밀착력을 향상시킨 유연한 신경 전극을 제공한다. 본 발명의 실시 예에 따른 유연한 기판의 3차원 구조물 기반의 신경전극은, 고분자 물질로 형성되고 유연하며 베이스 기능을 수행하는 제1폴리머층; 제1폴리머층 표면의 일 부위 상에 적어도 하나 이상 형성되고 3차원 구조를 형성하는 포토레지스트부; 제1폴리머층 표면의 나머지 부위와 포토레지스트부 상에 형성되며, 포토레지스트부에 의한 돌출부를 구비하는 제2폴리머층; 제2폴리머층 표면과 돌출부의 표면 상에 금속 박막이 패터닝되어 형성되는 금속박막층; 및 제2폴리머층의 표면과 금속박막층 상에 형성되어 커버 기능을 수행하며, 돌출부의 말단에 형성된 금속박막층의 일 부위가 외부로 노출되도록 타공된 측정홀을 구비하는 제3폴리머층;을 포함한다.
- Related Researcher
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Kim, Sohee
- Research Interests Neural interface; Brain interface; Bio MEMS; Soft MEMS; Stretchable electronics; Zebrafish electrophysiology
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- Appears in Collections:
- ETC 3. Patents
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