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dc.contributor.author 김회준 -
dc.contributor.author 장일류 -
dc.date.accessioned 2023-03-22T18:10:26Z -
dc.date.available 2023-03-22T18:10:26Z -
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/20.500.11750/45664 -
dc.description.abstract 개시된 본 발명에 의한 입자 측정장치는, 압전 물질로 마련된 베이스에 패터닝되어 신호를 상호 송수신하는 제1 및 제2전극을 포함하여, 제1 및 제2전극 사이에서 송수신되는 신호 변화로 입자의 질량을 측정하는 측정부 및, 제1 및 제2전극 사이에 마련된 흡착 영역에 마련되어, 온도 변화에 따라 미세 입자를 흡착하는 흡착부를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 높은 흡착율을 가지면서도 압전 물질의 공진율을 간섭하지 않음으로써, 입자 측정 품질이 우수하다. -
dc.title 입자 측정장치 및 이의 제조방법 -
dc.title.alternative PARTICLE MEASURING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF -
dc.type Patent -
dc.publisher.country KO -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2021-0078266 -
dc.date.application 2021-06-16 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-2500857 -
dc.date.registration 2023-02-13 -
dc.contributor.assignee 재단법인대구경북과학기술원 -
dc.type.iprs 특허 -
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Department of Robotics and Mechatronics Engineering Nano Materials and Devices Lab 3. Patents

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