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dc.contributor.author 김회준 -
dc.contributor.author 정순인 -
dc.contributor.author 장일류 -
dc.date.accessioned 2023-04-01T02:10:28Z -
dc.date.available 2023-04-01T02:10:28Z -
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/20.500.11750/45812 -
dc.description.abstract 본 발명은, 입자 물질 계측 장치 및 시스템, 방법에 관한 것으로, 구체적으로 센싱 영역(150)을 포함하는 압전 기판(100), 및 상기 압전 기판(100)의 일면에 구비된 제 1 내지 n 전극 모듈(200)을 포함하고, 상기 제 1 내지 n 전극 모듈(200) 각각은 상기 센싱 영역(150)을 중심으로 서로 대향되고, 간극이 동일한 빗살형 전극 쌍인 제 1 및 2 빗살 전극를 포함하며, 다중 공진 주파수를 발생하여 계측 대상물의 다양한 물성을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 입자 물질 계측 장치 및 시스템, 방법에 관한 것이다. -
dc.title 물질 계측 센서, 물질 계측 시스템 및 물질 계측 방법 -
dc.title.alternative Material Instrumentation Sensor, Material Instrumentation System and Material Instrumentation Method -
dc.type Patent -
dc.publisher.country KO -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2021-0029183 -
dc.date.application 2021-03-05 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 2511788 -
dc.date.registration 2023-03-15 -
dc.contributor.assignee (재)대구경북과학기술원(100/100) -
dc.type.iprs 특허 -
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Department of Robotics and Mechatronics Engineering Nano Materials and Devices Lab 3. Patents

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