Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이현준 | - |
| dc.contributor.author | 노희연 | - |
| dc.date.accessioned | 2023-11-01T02:10:24Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-01T02:10:24Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/46578 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 다양한 실시예에 따른 곡률을 가지는 박막의 형성 방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 제1 박막 및 제2 박막을 형성하는 단계; 상기 제2 박막을 패터닝하는 단계; 상기 제2 박막 상에 보호막을 형성하는 단계; 및 상기 제1 박막을 선택적으로 식각하는 단계를 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 곡률을 가지는 박막의 형성 방법 및 이를 통해 제조된 전자 소자 | - |
| dc.title.alternative | Method of forming a thin film with curvature and electronic device manufactured by the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2021-0018918 | - |
| dc.date.application | 2021-02-10 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2583823 | - |
| dc.date.registration | 2023-09-22 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- Division of Nanotechnology 3. Patents
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