시료와 간극이 있는 마스크를 이용한 투명전극의 증착 방법

Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, a) 기판 상에 후면 전극 층을 형성하는 단계; b) 상기 후면 전극 층 상에 흡수층을 형성시키는 단계; 및 c) 상기 흡수층 상에 투명전극 층을 형성하는 단계; 를 포함하여 이루어지고, 상기 투명전극 층을 형성하는 공정은, 기판과 이격되게 마스크를 배치하여, 스퍼터링법으로 투명전극을 증착하는 공정인 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법이 개시된다. 이를 통해, 태양전지 내에 새로운 구조의 투명전극층을 증착시킬 수 있으며, 상기 증착 방법에 따라 제조된 새로운 광학 구조의 투명 전극으로 인하여, 투명 전극 표면으로 입사되는 빛이 굴절되게 되고, 태양전지 내부에서 빛의 경로가 길어지게 되어, 단위 면적당 광전 효율이 높아지는 효과가 있다.