DGIST Scholar: 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법

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Department of Robotics and Mechatronics Engineering Intelligent Nanophotonics Lab 3. Patents

원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법

박영재 ;
한상윤

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Title: 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법

Alternative Title: METHOD FOR MANUFACTURING OPTICAL ELEMENT BASE ON ATOMIC LAYER DEPOSITION

Country: KO

Application Date: 2022-02-23

Application No.: 10-2022-0023575

Registration Date: 2024-01-16

Publication No.: 10-2626971

Assignee: 재단법인대구경북과학기술원

URI: http://hdl.handle.net/20.500.11750/47669 10-2022-0023575

Abstract: 본 발명은 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법에 관한 것으로, 일실시예에 따른 광학 소자의 제조방법은 기설정된 갭(gap)을 두고 서로 이격된 복수의 도파관(waveguide)이 형성된 기판을 챔버로 로딩하는 단계 및 원자층 증착법을 통해 복수의 도파관 각각에 금속 산화물을 증착하는 단계를 포함한다.
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