원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법

Abstract

본 발명은 원자층 증착법에 기반하는 광학 소자의 제조방법에 관한 것으로, 일실시예에 따른 광학 소자의 제조방법은 기설정된 갭(gap)을 두고 서로 이격된 복수의 도파관(waveguide)이 형성된 기판을 챔버로 로딩하는 단계 및 원자층 증착법을 통해 복수의 도파관 각각에 금속 산화물을 증착하는 단계를 포함한다.