다중물질 표면 탄성파 계측장치
- Title
- 다중물질 표면 탄성파 계측장치
- Alternative Title
- Multi-material Surface Acoustic Wave Measuring Apparatus
- Country
- KO
- Application Date
- 2021-06-28
- Application No.
- 10-2021-0084231
- Registration Date
- 2024-01-23
- Publication No.
- 10-2629642
- Assignee
- 재단법인대구경북과학기술원
- Abstract
- 본 발명의 실시예에 따르면, 압전기판; 상기 압전기판에 형성되어 전기적 신호를 표면 탄성파 신호로 변환하는 송신부; 상기 송신부와 대향되는 위치에 형성되어 표면 탄성파 신호를 전기적 신호로 변환하는 복수 개의 센서부들이 1개의 송신부를 공유하도록 된 수신부;를 포함하고, 상기 센서부 또는 상기 센서부와 송신부 사이의 전파송신로 중 적어도 어느 하나에는 타겟 물질과 반응하는 활성물질이 도포되도록 하되, 상기 수신부는 송신부를 기점으로 방사상으로 펼쳐지는 원호를 따라서, 독립적으로 작동하는 적어도 2개 이상으로 이루어지는 복수 개의 센서부를 형성하는 다중물질 표면 탄성파 계측장치가 제공될 수 있다.
- Related Researcher
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Kim, Hoe Joon
- Research Interests MEMS/NEMS; Micro/Nano Sensors; Piezoelectric Devices; Nanomaterials; Heat Transfer; Atomic Force Microscope
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- Appears in Collections:
- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Nano Materials and Devices Lab 3. Patents
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