초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법
- Title
- 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법
- Alternative Title
- Manufacturing method of ultrasound transducer apparatus
- Country
- KO
- Application Date
- 2018-09-28
- Application No.
- 10-2018-0116622
- Registration Date
- 2024-05-23
- Publication No.
- 10-2670111
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명에 따르면, 기판이 제공되는 단계; 상기 기판의 상면이 식각되는 단계; 식각된 상기 기판의 상면에 pMUT 요소가 형성되는 단계; 상기 pMUT 요소 상에 절연 물질이 증착되는 단계; 및 상기 기판의 후면이 식각되는 단계;를 포함하는, 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법를 제공한다.
- Related Researcher
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Choi, Hongsoo
- Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
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- Appears in Collections:
- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 3. Patents
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