- Title
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초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법
- Alternative Title
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Manufacturing method of ultrasound transducer apparatus
- Country
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KO
- Application Date
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2018-09-28
- Application No.
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10-2018-0116622
- Registration Date
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2024-05-23
- Publication No.
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10-2670111
- Assignee
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(재)대구경북과학기술원(100/100)
- URI
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http://hdl.handle.net/20.500.11750/56622
10-2018-0116622
- Abstract
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본 발명에 따르면, 기판이 제공되는 단계; 상기 기판의 상면이 식각되는 단계; 식각된 상기 기판의 상면에 pMUT 요소가 형성되는 단계; 상기 pMUT 요소 상에 절연 물질이 증착되는 단계; 및 상기 기판의 후면이 식각되는 단계;를 포함하는, 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법를 제공한다.
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