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  Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 3. Patents

초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법

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Title
초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법
Alternative Title
Manufacturing method of ultrasound transducer apparatus
Country
KO
Application Date
2018-09-28
Application No.
10-2018-0116622
Registration Date
2024-05-23
Publication No.
10-2670111
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/56622 10-2018-0116622
Abstract

본 발명에 따르면, 기판이 제공되는 단계; 상기 기판의 상면이 식각되는 단계; 식각된 상기 기판의 상면에 pMUT 요소가 형성되는 단계; 상기 pMUT 요소 상에 절연 물질이 증착되는 단계; 및 상기 기판의 후면이 식각되는 단계;를 포함하는, 초음파 트랜스듀서 장치의 제조 방법를 제공한다.

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