본 발명은 단결정 산화물 박막의 전사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 (a) 제1 기판 위에 화학 안정성을 가지는 용매에 용해되는 희생층을 형성하는 단계, (b) 상기 희생층 위에 단결정 산화물 박막을 성장시켜 적층체를 형성하는 단계, (c) 상기 적층체를 용매에 담금에 따라 상기 용매 내에서 상기 희생층을 용해하여 상기 제1 기판과 상기 단결정 산화물 박막을 분리하는 단계, 및 (d) 제2 기판을 상기 용매에 담근 후 들어 올리면서 용매 위에 부유된 상기 단결정 산화물 박막을 떠올려 제2 기판 상에 전사하는 단계를 포함하는 것으로, 특정 단결정 기판 위에 성장된 단결정 산화물 박막을 유연 기판 혹은 결정성에 관계없는 기판 위에 전사하여 기능성 소자를 제조할 수 있는 단결정 산화물 박막의 전사 방법에 관한 것이다.
