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캐패시터형 보안 소자의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 캐패시터형 보안 소자
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- Title
- 캐패시터형 보안 소자의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 캐패시터형 보안 소자
- Alternative Title
- Capacitor-type security element manufacturing method and capacitor-type security element manufactured using the same
- Country
- KO
- Application Date
- 2023-09-11
- Application No.
- 10-2023-0120189
- Registration Date
- 2025-02-24
- Publication No.
- 10-2774060
- Assignee
- 재단법인대구경북과학기술원
- Abstract
-
본 발명은 캐패시터형 보안 소자의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 캐패시터형 보안 소자를 개시한다. 본 발명은 기판 상에 유전체층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 기판 상에 유전체층을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 제1 절연층을 형성하는 단계; 상기 제1 절연층 상에 용액 공정을 이용하여 고유전체층을 형성하는 단계; 및 상기 고유전체층 상에 제2 절연층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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