3차원 미세 구조 제조 방법

Abstract

본 개시는 3차원 미세 구조를 형성하기 위한 방법에 대한 것이다. 본 방법은, 기판 상에 리플로우 가능 물질을 패터닝하는 단계, 패터닝된 리플로우 가능 물질이 유동성을 가져 리플로우되도록 가열하는 단계 및 유동성을 가진 리플로우 가능 물질을 원심력에 의해 기 설정된 형상으로 성형하기 위해, 기판을 회전체에 부착시켜 회전체를 회전시키는 단계를 포함한다.