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  Department of Robotics and Mechatronics Engineering Neural Interfaces & MicroSystems Lab 3. Patents
3차원 미세 구조 제조 방법
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Title
3차원 미세 구조 제조 방법
Alternative Title
METHOD FOR MANUFACTURING THREE-DIMENSIONAL MICROSTRUCTURES
Country
KO
Application Date
2022-03-25
Application No.
10-2022-0037629
Registration Date
2025-02-25
Publication No.
10-2775155
Assignee
재단법인대구경북과학기술원
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/58188 10-2022-0037629
Abstract
본 개시는 3차원 미세 구조를 형성하기 위한 방법에 대한 것이다. 본 방법은, 기판 상에 리플로우 가능 물질을 패터닝하는 단계, 패터닝된 리플로우 가능 물질이 유동성을 가져 리플로우되도록 가열하는 단계 및 유동성을 가진 리플로우 가능 물질을 원심력에 의해 기 설정된 형상으로 성형하기 위해, 기판을 회전체에 부착시켜 회전체를 회전시키는 단계를 포함한다.
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김소희
Kim, Sohee김소희

Department of Robotics and Mechatronics Engineering

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